28纳米IC的生产需建造更高别的洁净室

     洁净室，洁净車(chē)间，无尘車(chē)间--28纳米IC的生产需建造更高洁别的洁净室，中國(guó)IC市场最大的推动力是以智能(néng)手机和平板電(diàn)脑為(wèi)代表的移动终端。从制造业市场的推动力来看，上海华力微電(diàn)子有(yǒu)限公司设计支持科(kē)科(kē)長(cháng)来凯泉表示：“市场最大的推动力是以智能(néng)手机和平板電(diàn)脑為(wèi)代表的移动终端。随着移动终端的应用(yòng)不断丰富，对IC功耗的要求越来越高。要保证低功耗就需要在能(néng)耗管理(lǐ)方面进行推进，从而保证智能(néng)手机等移动终端的工作时间更長(cháng)。洁净車(chē)间对于芯片制造企业来讲，谁能(néng)在低功耗IC制造方面提供一个比较好的解决方案，谁就会在将来的竞争中占据比较有(yǒu)利的地位。”
     我國(guó)集成電(diàn)路产业正致力于形成设计业、制造业、封装测试业相对均衡发展的结构，IC制造企业无尘車(chē)间在其中发挥重要作用(yòng)。记者采访了中國(guó)大陆IC制造企业有(yǒu)关人士，对今年市场热点、技术走向做了详尽分(fēn)析。

　　智能(néng)手机平板電(diàn)脑是IC市场引擎

　　中國(guó)IC市场最大的推动力是以智能(néng)手机和平板電(diàn)脑為(wèi)代表的移动终端。

　　据iSuppli报告显示，2013年全球半导體(tǐ)产业营业收入预计增長(cháng)6.4%，达到3223亿美元，2012年营业收入从2011年的3102.1亿美元降到3030亿美元。

　　关于IC制造业的市场发展情况，上海先进半导體(tǐ)制造股份有(yǒu)限公司(ASMC)客户工程支持经理(lǐ)王亚平告诉《中國(guó)電(diàn)子报》无尘車(chē)间记者：“今年IC制造业也开始稳步提升，从全球市场来看，欧洲市场持续低迷，洁净車(chē)间而中國(guó)市场总體(tǐ)来看势头不错，近两个月IC制造业市场会逐步回升。”

　　“平板電(diàn)脑市场增速要大于智能(néng)手机，但市场总量仍没有(yǒu)智能(néng)手机大，触控IC技术也将是IC制造业的一大重点。”利扬微電(diàn)子有(yǒu)限公司业務(wù)部经理(lǐ)田坤谈到。

　　除了智能(néng)手机和平板電(diàn)脑这两个主要驱动力之外，王亚平进一步补充到，工业级应用(yòng)和智能(néng)電(diàn)网是第二大助推力，另外北斗导航、LED、汽車(chē)電(diàn)子洁净室等因素也助推IC业需求增長(cháng)，从而带动IC制造业产能(néng)扩大。

　　小(xiǎo)型化、小(xiǎo)線(xiàn)宽和大尺寸是方向

　　工艺技术将朝28纳米方向发展，洁净車(chē)间晶圆尺寸以18英寸為(wèi)主。

　　谈及工艺技术，上海先进半导體(tǐ)制造股份有(yǒu)限公司技术发展工程师沈浩峰告诉《中國(guó)電(diàn)子报》无尘車(chē)间记者：“IC制造工艺将朝小(xiǎo)型化、小(xiǎo)線(xiàn)宽和大尺寸晶圆的方向发展。”

　　沈浩峰进一步指出，产品今后将变得越来越小(xiǎo)，这也意味着在单位面积上芯片数量会不断增加洁净室。对于小(xiǎo)線(xiàn)宽，目前國(guó)际主流工艺是28纳米，而大陆主要集中在60/45纳米上，下一步大陆IC制造业应该会朝28纳米发展。

　　目前华力微電(diàn)子在移动设备制造方面，其55纳米低功耗工艺平台开始批量生产。此外，正在研发的是40纳米低功耗工艺平台，估计今年下半年会开始应用(yòng)。

　　对于大尺寸晶圆，沈浩峰表示，目前國(guó)内一些IC制造企业已经做到12英寸，國(guó)际趋势是朝18英寸方向发展。

　　　在当前“第三次工业革命”的浪潮中，洁净車(chē)间IC制造业担负着巨大的重任洁净室，不仅要推进技术工艺水平的不断提升，更要為(wèi)“中國(guó)智造”起到基石性的作用(yòng)。　而目前上海先进半导體(tǐ)主要以模拟技术為(wèi)主，兼具数字技术。目前工艺技术主要以5英寸、6英寸、8英寸為(wèi)主，这也主要考虑到模拟技术对線(xiàn)宽要求不是很(hěn)高，并且能(néng)够满足市场上的一些特殊需求，如MEMS技术等。

　　作為(wèi)大陆半导體(tǐ)晶圆制造商(shāng)，王亚平告诉记者，先进半导體(tǐ)以汽車(chē)電(diàn)子、IGBT、MEMS三条产品線(xiàn)為(wèi)主。在汽車(chē)電(diàn)子产品線(xiàn)上，生产用(yòng)于汽車(chē)安全气囊的集成電(diàn)路芯片，实现汽車(chē)電(diàn)子的零缺陷。在IGBT产品線(xiàn)上，IGBT2-1200V已实现累计产量45000片洁净室，目前3000VIGBT已研发成功。MEMS产品線(xiàn)建立了MEMSfab洁净室，力争达到高质量、高良率。