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洁净室中的防静電(diàn)

   洁净室中由于静電(diàn)引起的的事故屡有(yǒu)发生，因此洁净室的防静電(diàn)能(néng)力如何已成為(wèi)评价其质量的一个不可(kě)忽视的方面。

   所谓静電(diàn)，是由于摩擦等原因破坏了物(wù)體(tǐ)中正(+)负<一）電(diàn)荷等量的均匀的電(diàn)中性状态，而使電(diàn)荷过剩，物(wù)體(tǐ)呈带電(diàn)状态，由于这些電(diàn)荷平时是不流动的，故称静電(diàn)。

   在洁净室内静電(diàn)导致的事故有(yǒu)以下几方面；

   1．静電(diàn)電(diàn)引起的静電(diàn)電(diàn)击，引起人的不安全和恐惧感，并可(kě)造成二次伤害(例如人因受電(diàn)击而摔倒，由摔倒又(yòu)致伤)；

   2-静電(diàn)放電(diàn)引起的放電(diàn)電(diàn)流，可(kě)导致诸如半导體(tǐ)元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS電(diàn)路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因為(wèi)半导體(tǐ)器件对静電(diàn)放電(diàn)十分(fēn)灵敏（见表1-21）

   3．静電(diàn)放電(diàn)产生的電(diàn)磁波可(kě)导致電(diàn)子仪器和装置的杂音和误动作

   4．静電(diàn)放電(diàn)的发光可(kě)导致照像肢片等感光破坏；

   5．静電(diàn)的力學(xué)现象可(kě)导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱線(xiàn)纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；

   6．静電(diàn)放電(diàn)引起的最危险的灾害是成為(wèi)可(kě)燃物(wù)的火源井引起爆炸，例如國(guó)外文(wén)献统计，在手术室使用(yòng)爆炸性麻醉剂的86000次中，爆炸的36次，其中由静電(diàn)引起的达21次。

   静電(diàn)事故的产生主要在于静電(diàn)的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人體(tǐ)和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所有(yǒu)选些都可(kě)能(néng)产生静電(diàn)，在一般情况下，越是電(diàn)导率小(xiǎo)的非导體(tǐ)（绝缘體(tǐ)），由于電(diàn)荷产生后不易流动，因此表现為(wèi)越容易带電(diàn)。

   静電(diàn)问题所以在洁净室中特别严重，是因為(wèi)不但在洁净室中具备前述产生静電(diàn)的多(duō)种工艺因素，而且因為(wèi)洁净室中的许多(duō)材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有(yǒu)很(hěn)高的電(diàn)阻率，都极易产生静電(diàn)和集聚静電(diàn)，在洁净室的静電(diàn)灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用(yòng)的。表1- 22列举了國(guó)内两次测定数据。

   表1—23列举在进行超高频晶體(tǐ)管和超高频二极管的各道工序中，操作人员身上的電(diàn)位

   穿棉工作服时，操作人员身上電(diàn)位最小(xiǎo)(  50—200V)，穿某些合成材料制的服装的操作人员，身上電(diàn)位在2500 V以上，最高可(kě)达10KV以上，而且所有(yǒu)上述这些数值还不是最高值。

   為(wèi)防址洁净室的静電(diàn)電(diàn)击，必须注意静電(diàn)電(diàn)击的界限。

   1．人體(tǐ)发生静電(diàn)電(diàn)击的界限

   一般情况下人體(tǐ)带静電(diàn)電(diàn)位达到3KV以上就产生電(diàn)击。表l一24列出了人體(tǐ)带電(diàn)与发生静電(diàn)電(diàn)击的关系，此时人體(tǐ)静電(diàn)容量為(wèi)90PF，而当人體(tǐ)坐(zuò)在椅子上或穿薄底鞋时，其  静電(diàn)容量比100PF大，所以電(diàn)击電(diàn)位比表中所列的还要小(xiǎo)。

   2．带電(diàn)物(wù)體(tǐ)是导體(tǐ)时，发生静電(diàn)電(diàn)击界限。图1-13列出了这一静電(diàn)電(diàn)击界限。

   3．带電(diàn)物(wù)體(tǐ)是非导體(tǐ)时，发生静電(diàn)電(diàn)击界限。

   带電(diàn)物(wù)體(tǐ)是非导體(tǐ)时，静電(diàn)電(diàn)击的带電(diàn)電(diàn)位大约為(wèi)lOkV。

   為(wèi)了防止对人的静電(diàn)電(diàn)击，对人随时都在接触的室内地面的泄漏電(diàn)阻有(yǒu)一定要求，即為(wèi)了使人體(tǐ)静電(diàn)能(néng)通过地面尽快泄漏于大地而不发生放電(diàn)甚至電(diàn)击，该阻值越小(xiǎo)越好，一般根据工作环境性质要求

如表l一25所列。表中電(diàn)阻值是对已敷设好的地面测得的，不是材料的测定值。