联系我们

净化車(chē)间的静電(diàn)如何预防和处理(lǐ)

静電(diàn)是净化車(chē)间最难控制的因素之一。静電(diàn)会增加半导體(tǐ)器件生产中的废品增多(duō)并降低電(diàn)子设备的可(kě)靠性。因此，在半导體(tǐ)器件的生产中，必须防止静電(diàn)对器件的作用(yòng)。有(yǒu)许多(duō)方法可(kě)以消除静電(diàn)，对于具有(yǒu)防静電(diàn)环境要求的净净化車(chē)间工程，通常使用(yòng)以下方法：

1、选用(yòng)合适的材料：

净化車(chē)间装修要采用(yòng)不易产生静電(diàn)或产生静電(diàn)后能(néng)较快泄漏的材料，多(duō)种材料共同使用(yòng)时，应选用(yòng)在電(diàn)序列表中位置接近的材料。所有(yǒu)的材料可(kě)归入電(diàn)的导體(tǐ)或電(diàn)的绝缘體(tǐ)。导體(tǐ)是電(diàn)流能(néng)通过的材料，绝缘體(tǐ)是電(diàn)流不能(néng)通过的材料。

2、接地：

接地是带電(diàn)导體(tǐ)消除静電(diàn)最為(wèi)普遍、经济、简便、可(kě)靠的方法。

(1) 净化車(chē)间内可(kě)能(néng)产生静電(diàn)危害的设备、流动液體(tǐ)、气體(tǐ)或粉體(tǐ)管道应采取防静電(diàn)接地措施。

(2) 電(diàn)子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用(yòng)防静電(diàn)装饰，可(kě)以抑制尘埃的带電(diàn)吸附。

(3) 工艺设备接地。

(4)办公设备应采用(yòng)能(néng)防静電(diàn)的材料制成并接地。

(5)工作人员应穿戴防静電(diàn)的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。

3、中和：

将带電(diàn)體(tǐ)(静電(diàn))周围的空气离子化后，带電(diàn)的离子在電(diàn)磁场作用(yòng)下发生迁移，带電(diàn)體(tǐ)吸引异性電(diàn)荷达到中和而消除静電(diàn)。静電(diàn)消除器是一种能(néng)产生電(diàn) 子和离子的装置，它产生的電(diàn)子、离子与带電(diàn)體(tǐ)上的异性電(diàn)荷中和，从而消除静電(diàn)。绝缘材料表面所带的静電(diàn)荷、空气中的静電(diàn)荷必须用(yòng)静電(diàn)中和的办法来消除。

4、湿度控制：

在众多(duō)消除静電(diàn)的方法中，室内湿度控制也被认為(wèi)可(kě)以用(yòng)来减少和消除净化車(chē)间静電(diàn)。通过在环境中保持高的相对湿度，在该區(qū)域内物(wù)體(tǐ)的表面将形成薄薄的湿气层，利用(yòng)这一薄层来提供导電(diàn)的通道，使得可(kě)能(néng)产生的電(diàn)荷流过该湿气层耗散静電(diàn)荷。另外，薄薄的湿气层可(kě)以增加物(wù)體(tǐ)表面的润滑性，摩擦生電(diàn)也将减少。一般来说，湿度越低，产生的電(diàn)荷越多(duō)。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静電(diàn)電(diàn)压，但是，在高湿度环境中，生产人员可(kě)能(néng)会感觉十分(fēn)不舒服，零部件可(kě)能(néng)生锈，并产生可(kě)焊性问题。同时，企图用(yòng)湿度控制来消除静電(diàn)的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地區(qū)更是如此。