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洁净室的常见的几种气流方式

层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直線(xiàn)型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔板回风，此型式适用(yòng)于洁净室等级需定较高之环境使用(yòng)，一般其洁净室等级為(wèi)CLASS1-100。其型式可(kě)分(fēn)為(wèi)二种：

水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
                     
垂直层流式：房间天花(huā)板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可(kě)得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可(kě)快速排出室外而不会影响其他(tā)工作區(qū)域。

乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直線(xiàn)型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用(yòng)于洁净室等级1000-100，000级。

复合式：复合式為(wèi)将乱流式及层流式予以符合或并用(yòng)，可(kě)提供局部超洁净之空气。我们也称之為(wèi)非单向流。