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洁净室中的温湿度设定

   洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势，这从下面对比可(kě)以看出。

具體(tǐ)工艺对温度的要求以后还要列举，但作為(wèi)总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小(xiǎo)。例如在大规模集成電(diàn)路生产的光刻曝光工艺中，作為(wèi)掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小(xiǎo)。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨胀，所以必须有(yǒu)±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因為(wèi)人出汗以后，对产品将有(yǒu)污染，特别是怕钠的半导體(tǐ)車(chē)间，这种車(chē)间不宜超过25度。

   湿度过高产生的问题更多(duō)。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或電(diàn)路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分(fēn)子把硅片表面粘着的灰尘化學(xué)吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又(yòu)由于静電(diàn)力的作用(yòng)使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导體(tǐ)器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围為(wèi)35—45%。

   人體(tǐ)舒适感一般与下列因素有(yǒu)关：空气温度湿度，吹过人體(tǐ)的空气速度，所在空间内各种表面温度，人的活动强度，生活习惯，衣着情况，年龄性别等。

   上述几种不同因素的组合可(kě)以给人以相同的冷热感觉即舒适感。在浩净室中由于工作人员都穿洁净工作服，有(yǒu)时还穿两套这样的工作服，而洁净工作服一股是用(yòng)尼龙、的确良等制做，透气性较差，所以洁净定中感到较舒适的温湿度比一般环境的较低。所以(空气洁净技术措施》建议除工艺要求外，洁净室温度宜采用(yòng)18—26度，相对温度则宜用(yòng)40—60%,夏季取上限，冬季取下限。