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半导體(tǐ)洁净車(chē)间注意事项

　　半导體(tǐ)组件空间单位都是以微米来计算的，所以微尘颗粒附着在制作半导體(tǐ)组件的晶圆上，很(hěn)有(yǒu)可(kě)能(néng)影响到上面的精密导線(xiàn)布局的样式，造成短路或断路情况。因此所有(yǒu)半导體(tǐ)制程设备都必须放置在隔绝粉尘进入的密闭空间里，这就是半导體(tǐ)洁净車(chē)间的来由。

　　下面给大家说说出入半导體(tǐ)洁净車(chē)间需要注意的事项：

　　1.半导體(tǐ)洁净車(chē)间内部要确保粉尘只出不进，因此洁净車(chē)间室内要保持大于大气压的环境，这就需要用(yòng)大型鼓风机将经净化设备的空气源源输入洁净車(chē)间中。

　　2.為(wèi)保持恒温恒湿，大型空调设备须搭配前面的鼓风加压系统使用(yòng)。鼓风机加压多(duō)久，空调就得开多(duō)久。

　　3.所有(yǒu)经净化设备的空气流动方向均由上往下為(wèi)主，因此洁净車(chē)间室内空间设计或机台摆放应避免突兀，使尘埃细菌等在洁净車(chē)间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。

　　4.所有(yǒu)建材均以不易产生静電(diàn)吸附的材质為(wèi)主。

　　5.所有(yǒu)人或事物(wù)进出洁净車(chē)间，人必须穿配套防尘服，人或事物(wù)都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

　　6.半导體(tǐ)洁净車(chē)间内水的使用(yòng)只限用(yòng)去离子水。一是防止水中粉粒污染晶圆，二是防止水中重金属离子污染金氧半晶體(tǐ)管结构的带電(diàn)载子信道，影响半导體(tǐ)组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂，在半导體(tǐ)工业的使用(yòng)量非常惊人。

　　7.半导體(tǐ)洁净車(chē)间用(yòng)到的气源，包括吹干晶圆和机台空压所需要的，都需要使用(yòng)98%氮气，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。