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洁净車(chē)间湿度过高会造成哪些问题

　　洁净車(chē)间温度和湿度的项目主要是根据工艺要求来确定的，还要考虑到人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，已经对温湿度要求的过程越来越严格的趋势。

　　关于温度要求的具體(tǐ)过程这里就不详细介绍，但作為(wèi)一般原则，由于洁净車(chē)间越来越多(duō)的精密加工，所以温度波动范围的要求越来越小(xiǎo)。例如，在用(yòng)于大规模集成電(diàn)路生产的光刻曝光工艺中，作為(wèi)玻璃和掩模材料的硅晶片之间的热膨胀系数的差异变得越来越小(xiǎo)。100微米直径的硅晶片，温度升高1度，它引起的線(xiàn)性膨胀為(wèi)0.24微米，因此必须有(yǒu)±0.1度恒定的温度，而湿度值一般较低，这是因為(wèi)人出汗后产品会被污染，特别是害怕钠的半导體(tǐ)車(chē)间，这种无尘洁净車(chē)间作业不应超过25度。

　　高湿度会导致很(hěn)多(duō)问题。如果相对湿度超过50%，则冷却水的管壁上会发生冷凝现象。如果发生在精密设备或者是電(diàn)路中，可(kě)能(néng)会发生各种事故。相对湿度在50%时容易生锈。除此之外，无尘洁净車(chē)间工作湿度过高会通过空气中的水分(fēn)子把硅片表面的附着的灰尘化學(xué)吸附在表面而难以去除。相对湿度越高，粘附越难去掉，然而当相对湿度小(xiǎo)于30%时，由于静電(diàn)力的作用(yòng)，颗粒也容易被吸附在表面上，大量半导體(tǐ)器件容易破裂。