济南顺奇净化工程有(yǒu)限公司
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在显示器生产中,洁净工程車(chē)间环境污染控制的好坏决定了显示器生产效率的高低。显示器的整个生产过程都必须在受控环境要求中进行,济南顺奇净化工程公司告诉大家:大部分(fēn)的显示器都在10万级洁净工程車(chē)间中生产。随着高科(kē)技的发展需求,有(yǒu)些显示器必须在高精度的洁净工程环境下生产。?其污染控制难度的相应变大,需采用(yòng)适合的分(fēn)析产率和尘粒产生的方法。厂家并不总是分(fēn)析尘粒的组成,他(tā)们往往通过查看玻璃面板的生产过程来查找、分(fēn)析尘粒产生的根本原因。
进入洁净工程車(chē)间的人员必须要穿洁净服,别外每周要进行清洗,包装前需测试尘粒度,然后才能(néng)投入使用(yòng)。所用(yòng)的消耗品,包括抹布、拖把、过滤器等在进車(chē)间前需灭菌并双层包装。洁净工程車(chē)间的工作人员每六个月需经再次培训以加强工作技能(néng)。
為(wèi)了更好地控制污染,在洁净車(chē)间,需定期监控,保证环境的洁净度和工具的运转正常。系统性清洁卫生和定期检修可(kě)以帮助降低洁净車(chē)间的尘粒度。在洁净車(chē)间最好地监控在線(xiàn)尘粒的方法就是使用(yòng)一块作证的面板,这块面板是一块带金属层的玻璃衬底。将这块面板放在洁净車(chē)间的内移动,可(kě)以监控不同區(qū)域的尘粒。如果尘粒大量增多(duō),就需进行分(fēn)析,解决问题。
污染物(wù)可(kě)能(néng)对工艺过程和器件产生下列影响:器件工艺良品率。在一个污染环境中制成的器件会引起多(duō)种问题。污染会改变器件的尺寸,改变表面的洁净度,并且/或者造成有(yǒu)凹痕的表面。在晶片生产的过程中,有(yǒu)一系列的质量检验和检测,他(tā)们是為(wèi)检测出被污染的晶片而特殊设计的。高度的污染使得仅有(yǒu)少量的晶片能(néng)够完成全工艺过程,从而导致成本升高。
器件性能(néng)。一个更為(wèi)严重的问题是在工艺过程中漏检的小(xiǎo)的污染。晶片看起来是干净的,但其中未能(néng)检测出来的颗粒、不需要的化學(xué)物(wù)质和高浓度的可(kě)移动离子污染物(wù),可(kě)能(néng)会改变器件的電(diàn)性能(néng)。这个问题通常是在芯片切割时的電(diàn)测试中显现出来。
器件可(kě)靠性。最令人担心的莫过于污染对器件可(kě)靠性的失效影响。小(xiǎo)剂量的污染物(wù)可(kě)能(néng)会在工艺过程中进入晶片,而未被通常的器件测试检验出来。然而,这些污染物(wù)会在器件内部移动,最终停留在電(diàn)性敏感區(qū)域,从而引起器件失效,因此洁净工程行业的环境要求与发展会逐渐成為(wèi)高科(kē)技行业关注的目标,
随着显示器行业和市场的发展,对显示器品质的要求也越来越高。品质控制工具逐渐成為(wèi)厂家管理(lǐ)生产的方法。同时,显示器行业的标准化也是未来发展的一个趋势,这无疑把洁净工程建设推向了一个更高的平台。
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