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我國(guó)在洁净工程的发展状况

 我國(guó)的洁净技术和设备与國(guó)外先进國(guó)家相比相距是明显的，我國(guó)1965年才开始生产的HEPA，经國(guó)外晚了 十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比國(guó)外晚了二十年。0.1微米洁净技术和设备在國(guó)际上先 进國(guó)家已成為(wèi)成熟技术，我國(guó)则刚刚起步。

   世界各工业先进國(guó)家為(wèi)适应超净技术的发展，对大量使用(yòng)的高效过滤器的研究从未中断，几年来一起在开 发不同结构不同性能(néng)的新(xīn)产品，美國(guó)自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器，1984攫美國(guó)AAF公司开始生产 0.1微米无隔板ULPA过滤器，目前，為(wèi)0.1微米ULPA过滤器在美國(guó) AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDG 公司已形成商(shāng)品生产。日本也已成為(wèi)世界上生产0.1微米ULPA过渡器厂家最多(duō)的國(guó)家，品种繁多(duō)，产品系列 化，尤其是低压损型0.1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。國(guó)际市场对高效空气过渡 器的需要量很(hěn)大，且每年均有(yǒu)增長(cháng)，目前日本每年销售超过100万台，按每台平均价格200美元计算，销售 额达2亿美元。我國(guó)高效空气过渡器的需要量已接近每年10万台，占國(guó)际市场的2%~4%，但至今还没有(yǒu) 0.1微米ULPA过渡器生产，用(yòng)于越大规模集成電(diàn)路生产洁净厂房及各种高科(kē)技领域洁净厂房的0.1微米 ULPA过滤器目前还依赖进口。

     在洁净室建设规模的技术水平上，我國(guó)与先进國(guó)家差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年 期间承建的洁净室面积达81.8万平方米，而这期间，我國(guó)一年承建的洁净室总面积还不到10万平米，但八五 期间有(yǒu)较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美國(guó)的洁净室建设规模更大，1998年统计 已达188.5万平方米。在洁净室工程技术水平上，80年代末期，國(guó)外已大量建成0.1微米级的超净室，1987年 日本三洋新(xīn)泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木(mù)则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级 厂房，换气次数高达300次/分(fēn)。 美國(guó)在台湾的TSMCS新(xīn)厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我國(guó)使用(yòng)的0.1微米十级洁 净室主要依赖从國(guó)外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分(fēn)昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达 1万美元以上。在大规模集成電(diàn)路制造装备的投资中洁净厂房占有(yǒu)相当高的比例，这与集成電(diàn)路工艺不断更 新(xīn)，产品更新(xīn)换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成電(diàn)路技术的发展。美國(guó) ASYAT公司、德國(guó)MW公司发展的使用(yòng)隔离技术的亚微米环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用(yòng)。 该项最新(xīn)的洁净技在100级洁净度的洁净厂房中，采用(yòng)工艺设备局部使用(yòng)隔离技术的微环境，把投资比例 压缩到高级别的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源生产对集成電(diàn)路成品率和可(kě)靠性的影 响作用(yòng)。

    洁净技术和装备的國(guó)际市场十分(fēn)巨大，日本到80年代末、90年代初洁净技术和设备的销售额已突破35亿 美元。美國(guó)和西欧等先进國(guó)家洁净设备的基础部件的销售额忆达73亿美元。据中國(guó)電(diàn)子专用(yòng)设备工业协会 统计，我國(guó)主要八家最大的净化设备厂的销售额在1990年為(wèi)8217万无，还不足1亿，1993年达到14495万元， 占國(guó)际市场销售额的0.34%。但随着我國(guó)高新(xīn)技术的迅速发展和微電(diàn)子工业、光纤工业、液晶显示工业及光 電(diàn)器件工业、生物(wù)工程、医药工业的发展，我國(guó)潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年40%~50%的增長(cháng) 速度在增加。